Gjelder Passat drivstoff common rail trykksensor 06E906051K

1. Fremgangsmåte for å danne en trykksensor, omfattende:

Tilveiebringelse av et halvledersubstrat, hvori et første dielektrisk mellomlagslag, et første dielektrisk mellomlagslag og et andre dielektrisk mellomlagslag er dannet på halvledersubstratet.

En nedre elektrodeplate i det første mellomlags dielektriske laget, en første gjensidig elektrode plassert på samme lag som den nedre elektrodeplaten og med avstand fra hverandre.

Forbindelseslag;

Danner et offerlag over den nedre polare platen;

å danne en øvre elektrodeplate på det første mellomlags dielektriske lag, det første sammenkoblingslaget og offerlaget;

Etter dannelse av offerlaget og før dannelse av den øvre platen, i det første sammenkoblingslaget

danne et koblingsspor, og fylle koblingssporet med den øvre platen for elektrisk å forbinde med det første sammenkoblingslaget;Eller,

Etter å ha dannet den øvre elektrodeplaten, dannes det forbindelsesspor i den øvre elektrodeplaten og det første sammenkoblingslaget, som

å danne et ledende lag som forbinder den øvre elektrodeplaten og det første sammenkoblingslaget i forbindelsessporet;

Etter elektrisk kobling av den øvre platen og det første sammenkoblingslaget, fjerning av offerlaget for å danne et hulrom.

2. Fremgangsmåten for å danne en trykksensor ifølge krav 1, hvori i det første laget

Fremgangsmåten for å danne offerlaget på det mellomlags dielektriske laget omfatter følgende trinn:

Avsetning av et offermateriallag på det første mellomlags dielektriske lag;

Mønstring av offermateriallaget for å danne et offerlag.

3. Fremgangsmåte for utforming av trykksensoren ifølge krav 2, karakterisert ved at det benyttes fotolitografi og gravering.

Offermateriallaget er mønstret ved etseprosess.

4. Fremgangsmåten for å danne en trykksensor ifølge krav 3, hvori offerlaget

Materialet er amorft karbon eller germanium.

5. Fremgangsmåten for å danne en trykksensor ifølge krav 4, hvori offerlaget

Materialet er amorft karbon;

Etsegasser som brukes i prosessen med å etse offermateriallaget inkluderer O2, CO, N2 og Ar;

Parametrene i prosessen med å etse offermateriallaget er: strømningsområdet for O2 er 18 SCCM ~ 22 SCCM, og strømningshastigheten til CO er 10%.

Strømningshastigheten varierer fra 90 SCCM til 110 SCCM, strømningshastigheten til N2 varierer fra 90 SCCM til 110 SCCM, og strømningshastigheten til Ar.

Området er 90 SCCM ~ 110 SCCM, trykkområdet er 90 mtor ~ 110 mtor, og forspenningseffekten er

540w–660w.