Gjelder for Passat Fuel Common Rail Pressure Sensor 06E906051K

1. En metode for å danne en trykksensor, omfattende:

Ved å gi et halvlederunderlag, hvor et første mellomlagsdielektrisk lag, dannes et første mellomlagsdielektrisk lag og et andre mellomlagsdielektrisk lag på halvlederunderlaget.

En nedre elektrodeplate i det første mellomlaget dielektrisk lag, en første gjensidig elektrode plassert på samme lag som den nedre elektrodeplaten og fordelt fra hverandre.

Koble til lag;

Danner et offerlag over den nedre polare platen;

Danner en øvre elektrodeplate på det første interlayer dielektriske laget, det første sammenkoblingslaget og offerlaget;

Etter å ha dannet offerlaget og før du danner den øvre platen, i det første sammenkoblingslaget

Danner et tilkoblingsspor, og fylle tilkoblingssporet med den øvre platen for å elektrisk koble til det første sammenkoblingslaget; Eller,

Etter å ha dannet den øvre elektrodeplaten, dannes kobling av spor i den øvre elektrodeplaten og det første sammenkoblingslaget, som

Danner et ledende lag som forbinder den øvre elektrodeplaten og det første sammenkoblingslaget i tilkoblingssporet;

Etter elektrisk kobling av den øvre platen og det første sammenkoblingslaget, fjernet det offerlaget for å danne et hulrom.

2. Metoden for å danne en trykksensor ifølge krav 1, hvor i det første laget

Metoden for å danne offerlaget på det mellomliggende dielektriske laget omfatter følgende trinn:

Avsetning av et offermateriale lag på det første mellomlagets dielektriske lag;

Mønstre det offermateriale laget for å danne et offerlag.

3. Metoden for å danne trykksensoren ifølge krav 2, hvor fotolitografi og gravering brukes.

Det offermateriale laget mønstres av etsingsprosessen.

4. Metoden for å danne en trykksensor ifølge krav 3, der det offerlaget

Materialet er amorft karbon eller germanium.

5. Metoden for å danne en trykksensor ifølge krav 4, hvor offerlaget

Materialet er amorft karbon;

Etsende gasser som brukes i prosessen med å etse det offermateriale laget inkluderer O2, CO, N2 og AR;

Parametrene i prosessen med å etse det offermateriale laget er: strømningsområdet til O2 er 18 SCCM ~ 22 SCCM, og strømningshastigheten til CO er 10%.

Strømningshastigheten varierer fra 90 SCCM til 110 SCCM, strømningshastigheten på N2 varierer fra 90 SCCM til 110 SCCM, og strømningshastigheten til AR.

Området er 90 sccm ~ 110 sccm, trykkområdet er 90 mTOR ~ 110 mTOR, og skjevheten er

540W ～ 660W。