Den ofte brukte halvledertrykksensoren bruker N-type silisiumplate som underlag.For det første lages silisiumplaten til en elastisk spenningsbærende del med en viss geometri.Ved den spenningsbærende delen av silisiumplaten lages fire diffusjonsmotstander av P-type langs forskjellige krystallretninger, og deretter dannes en firearms Wheatstone-bro med disse fire motstandene.Under påvirkning av ytre kraft blir endringene i motstandsverdier elektriske signaler.Denne hvetesteinsbroen med trykkeffekt er hjertet i trykksensoren, som vanligvis kalles piezoresistiv bro (som vist i figur 1).Egenskapene til en piezoresistiv bro er som følger: ① motstandsverdiene til de fire armene på broen er like (alle r0);② Den piezoresistive effekten av tilstøtende armer på broen er lik verdi og motsatt i fortegn;③ Motstandstemperaturkoeffisienten til de fire armene på broen er den samme, og de har alltid samme temperatur.I fig.1, R0 er motstandsverdien uten spenning ved romtemperatur;RT er endringen forårsaket av temperaturkoeffisienten for motstand (α) når temperaturen endres;Υ Rδ er endringen av motstand forårsaket av belastning (ε);Utgangsspenningen til broen er u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (konstant strømkildebro).

Hvor I0 er konstant strømkildestrøm og e er konstant spenningskildespenning.Utgangsspenningen til den piezoresistive broen er direkte proporsjonal med tøyningen (ε) og har ingenting å gjøre med RT forårsaket av temperaturkoeffisienten for motstand, som i stor grad reduserer temperaturdriften til sensoren.Den mest brukte halvledertrykksensoren er en sensor for å detektere væsketrykk.Hovedstrukturen er en kapsel laget av monokrystallinsk silisium (som vist i figur 2).Membranen er laget til en kopp, og bunnen av koppen er den delen som bærer den ytre kraften, og trykkbroen er laget på bunnen av koppen.Ringsokkelen er laget av det samme silisium-enkrystallmaterialet, og deretter bindes membranen til sokkelen.Denne typen trykksensor har fordelene med høy følsomhet, lite volum og soliditet, og har blitt mye brukt i luftfart, romnavigasjon, automatiseringsinstrumenter og medisinske instrumenter.