Passer for Hitachi KM11 oljetrykksensor EX200-2-3-5

Fire trykkteknologier for trykksensor

1. Kapasitiv

kapasitive trykksensorer er vanligvis foretrukket av et stort antall profesjonelle OEM-applikasjoner. Detektering av kapasitansendringer mellom to overflater gjør at disse sensorene kan registrere ekstremt lave trykk- og vakuumnivåer. I vår typiske sensorkonfigurasjon består et kompakt hus av to tett plasserte, parallelle og elektrisk isolerte metalloverflater, hvorav den ene i hovedsak er en membran som kan bøye seg litt under trykk. Disse fast feste overflatene (eller platene) er montert slik at bøyningen av sammenstillingen endrer gapet mellom dem (faktisk danner en variabel kondensator). Den resulterende endringen oppdages av en følsom lineær komparatorkrets med (eller ASIC), som forsterker og sender ut et proporsjonalt høynivåsignal.

2.CVD type

kjemisk dampavsetning (eller "CVD") produksjonsmetode binder polysilisiumlag til membran av rustfritt stål på molekylært nivå, og produserer dermed sensor med utmerket langsiktig driftytelse. Vanlige batchbehandlingsmetoder for halvlederproduksjon brukes til å lage polysilisium strain gauge-broer med utmerket ytelse til en svært rimelig pris. CVD-strukturen har utmerket kostnadsytelse og er den mest populære sensoren i OEM-applikasjoner.

3. Sputtering film type

Sputtering filmavsetning (eller "film") kan skape en sensor med maksimal kombinert linearitet, hysterese og repeterbarhet. Nøyaktigheten kan være så høy som 0,08 % av full skala, mens langtidsdriften er så lav som 0,06 % av full skala hvert år. Ekstraordinær ytelse til nøkkelinstrumenter – vår forstøvede tynnfilmsensor er en skatt i trykkfølingsindustrien.

4.MMS-type

Disse sensorene bruker mikromaskinert silisium (MMS) diafragma for å oppdage trykkendringer. Silisiummembranen er isolert fra mediet av den oljefylte 316SS, og de reagerer i serie med prosessvæsketrykket. MMS-sensoren bruker vanlig halvlederproduksjonsteknologi, som kan oppnå høy spenningsmotstand, god linearitet, utmerket termisk sjokkytelse og stabilitet i en kompakt sensorpakke.